早期的潔凈室與現(xiàn)代的潔凈室含義有所不同潔凈室是指“空氣中懸浮粒子濃度受控的房間,它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生或者滯留粒子。室內(nèi)其他參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制”。潔凈區(qū)是“空氣中懸浮粒子濃度受控的限定空間”。“潔凈區(qū)可以是開式的或者是閉式的。” 可以看出,上述關(guān)于現(xiàn)代潔凈室雖然沿用了“潔凈室”這個名稱,但其意義和內(nèi)涵與其原有的概念有了很大的不同,賦予了新的特殊的含義,這就是: 其一,潔凈室(區(qū))定義為室(區(qū))內(nèi)空氣中懸浮粒子濃度受控的房間(空間),并明確了潔凈室(區(qū))是以控制懸浮粒子濃度為主要目標。由于空氣中的微生物一般總是附著在懸浮塵粒上,稱為微生物粒子(或稱有生命粒子)。因此,空氣中懸浮粒子,包括非生物粒子和生物粒子兩大類;潔凈室(區(qū))應是以控制室(區(qū))內(nèi)空氣中懸浮非生物粒子濃度或者生物粒子濃度為主要目標。這就分別明確了工業(yè)潔凈室和生物潔凈室的主要控制對象。 其二,潔凈室(區(qū))除了對室(區(qū))內(nèi)空氣中懸浮粒子濃度嚴格控制外,對其他參數(shù)如溫度、濕度、壓力等也必須按要求進行控制。 其三,潔凈室(區(qū))的定義,指明了控制潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣中懸浮粒子濃度的基本方法,這就是防止粒子從外部進入室內(nèi),及時排除已經(jīng)進入室內(nèi)的或室內(nèi)產(chǎn)生的粒子,并要求潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種建筑、布局、工藝流程、人與物流、材料、設備和凈化空調(diào)系統(tǒng)的技術(shù)措施等都應遵循上述基本方法的要求,以保證潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣中懸浮粒子濃度不超過標準規(guī)定的要求。 值得指出,上述潔凈室(區(qū))定義所限定的反映室(區(qū))內(nèi)環(huán)境空氣質(zhì)量的參數(shù)名類已不能完全適應當今某些現(xiàn)代化生產(chǎn)和科研實驗對室內(nèi)環(huán)境的需求,如現(xiàn)代化的大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線,還要求對靜電、微振動和空氣中分子氣態(tài)污染物(英文縮寫為AMC)進行控制。 |