潔凈室的等級(jí)依照空氣潔凈度等級(jí)劃分潔凈室的等級(jí)是依照空氣潔凈度等級(jí)劃分的,其定義為潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子**濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。各國的劃分標(biāo)準(zhǔn)之間存在一定差異,目前,在我國使用較多的為國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)和中國標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16292-1996醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))懸浮粒子的測試方法。按照上述標(biāo)準(zhǔn),一般來說,1級(jí)潔凈室主要用于制造大規(guī)模集成電路的微電子工業(yè);10級(jí)潔凈室主要用于帶寬小于2μm的半導(dǎo)體行業(yè);100級(jí)是常用的潔凈室,可用于醫(yī)藥中的無菌制造工藝、外科手術(shù)、人造內(nèi)臟器官和集成電路生產(chǎn);1000級(jí)主要用于光學(xué)產(chǎn)品和高質(zhì)量微型軸承的生產(chǎn),以及飛機(jī)陀螺儀的測試;10000級(jí)用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的生產(chǎn),有些情況下也用于食品飲料的生產(chǎn);100000級(jí)用于很多行業(yè)的生產(chǎn)部門。 |