潔凈室是“空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子,室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制”。由此可見,潔凈室是特殊的房間,該房間內(nèi)的空氣懸浮粒子濃度、空氣溫度、濕度、壓力等參數(shù)均需要控制,并且它應(yīng)有減少粒子的誘入、產(chǎn)生及滯留之功效。這就需要通過良好的氣流組織、行之有效的壓差控制、符合工藝要求的潔凈室形狀及裝修材料、嫻熟的施工技術(shù)、科學(xué)的運行管理等...
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